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题名:
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微纳制造 wei na zhi zao / Mark J. Jackson[编著] , |
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ISBN:
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978-7-03-018243-2 价格： CNY88.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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10,699页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2007 |
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内容提要:
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本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。 |
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主题词:
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机械制造工艺 纳米技术 |
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中图分类法:
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TH16 版次： 4 |
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主要责任者:
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杰克逊 jie ke xun 编著 |
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主要责任者:
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Jackson 编著 |
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版次:
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影印版 |
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索书号:
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5 |