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题名:
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金刚石薄膜沉积制备工艺与应用 jin gang shi bao mo chen ji zhi bei gong yi yu ying yong / 戴达煌 ...[等]编著 , |
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ISBN:
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7-5024-2775-9 价格： CNY20.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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108页 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2001 |
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内容提要:
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本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法; 论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素; 同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。 |
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主题词:
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金刚石 薄膜 |
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中图分类法:
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TB34 版次： 4 |
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主要责任者:
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戴达煌 dai da huang 编著 |
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索书号:
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5 |