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题名:
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薄膜材料制备原理、技术及应用 bo mo cai liao zhi bei yuan li、 ji shu ji ying yong / 唐伟忠著 , |
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ISBN:
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7-5024-3097-0 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10, 323页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2003 |
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内容提要:
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本书共分七部分, 内容包括薄膜制备的真空技术基础、薄膜的物理气相沉积、薄膜的化学气相沉积、薄膜的生长过程和结构、薄膜材料的表征方法及应用。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 4 |
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主要责任者:
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唐伟忠 tang wei zhong 著 |
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版次:
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第2版 |
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索书号:
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4 |