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题名:
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电子束曝光微纳加工技术 dian zi shu pu guang wei na jia gong ji shu / 顾文琪主编 , 顾文琪 ...[等]著 |
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ISBN:
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7-5639-1300-9 价格： CNY50.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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310页 图, 肖像 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京工业大学出版社 出版日期： 2004 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景, 同时, 详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标, 电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。 |
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主题词:
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半导体工艺 电子束光刻 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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主要责任者:
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顾文琪 gu wen qi 主编 |
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索书号:
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5 |