|
题名:
|
微机电系统 wei ji dian xi tong / 范伟政，乔大勇编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5612-3030-5 价格： CNY28.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
207页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2011 |
|
内容提要:
|
全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。 |
|
主题词:
|
微电子技术 高等教育 |
|
主题词:
|
微电子技术 |
|
中图分类法:
|
TN4 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
范伟政 fan wei zheng 编著 |
|
主要责任者:
|
乔大勇 qiao da yong 编著 |
|
附注:
|
普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |
|
索书号:
|
5 |